ESC (Electro-Static Chuck)
건식 식각장비에 들어가는 핵심 부품으로써 ‘+,-’를 인가시키면 정전기(Electrostatic)의 힘으로 반도체의 Wafer, LCD의 유리기판을 수평으로 흡착, 고정시키는 역할을 함.

- Plasma Spay Coating으로 CERAMIC(절연층) 및 전극층을 형성하여 ESC 제조
- 전기적 특성 및 내구성 향상을 위한 고저항 Sealing
- 독자적인 Z-Powder Coating으로 낮은 기공율, 3차원 결합, 높은 내전압의 특성