정밀세정[Precision Cleaning]이란 반도체/Display/Solar Cell/LED 등에 생산공정에서 발생한 미세오염 [Micro Contamination] 물질을 제거하는 것을 의미함. 뿐만 아니라 생산 공정의 사용조건을 만족시키고 수명을 연장시키며, 공정효율 및 생산 수율을 증가시키는 역할을 함
각 부품에 부착된 이물질은 다원자 분자로 구성되어 있으며 조건에 따라 유,무기물이 합성된 복합물질로 되어 있으며, 화학적 반응을 통해 복합물질의 결합력을 약화시키는 기술을 적용하고 후 처리공정으로 재질 별로 적합한 초음파 및 고압 Spray의 물리적 Rinse 공정 선별 Treatment 실시함
구분 | 제품 | 세정 前 | 세정 後 | 구분 | 제품 | 세정 前 | 세정 後 |
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LED | Ceiling | 반도체 | Ceramic
Dome |
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Star
Quartz 일체형 |
Upper
Chamber |
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LCD | Focus
Ring |
Solar
Cell |
방착판 | ||||
Upper
Shield |
기판
Holder |