- 제품이 패이거나 깎여 변형되는 것을 방지
- 본체의 모양을 유지하여 모재를 오래 사용하기 위함
- 코팅층이 손상되어도 모재의 손상을 방지해 후에 재사용 가능하도록 하기 위함

- 고속으로 기재에 충돌시켜 적층 피막을 형성하는 기술

Coating막의 주요 요구 조건

- 부식성 Gas 환경인 Dry Etcher Chamber 내부에서 Aluminum/SUS parts의 절연특성 요구
- 내 Plasma, 내 부식성, 이종 소재간 접착층의 밀착 내구성

Coating 특성 관리 필요 항목

- Coating Layer 기공률 최소화, Partially Melted Particle 최소화
- No Contamination, Substrate와 접착력 확보