[OLED Deposition System]
[Shadow Mask]
[OLED 소자 구성]
- OLED Panel 형성을 위한 Deposition Process에서 Metal Mask는 Deposition 과정이 일정 회수를 넘을 때
Mask의 처짐 현상 및 Particle과 같은 원인에 의해 주기적 세정 필요
- 당사는 OLED의 Deposition Process 중 Cathode 공정 Mask에 대한 세정을 진행중