2006년 12월 기업 부성 연구소를 설립하였으며, 현재 15명의 전문연구원이 연구개발 등을 하고 있습니다.
창립 초기부터 신성장 동력을 위한 투자로 매년 매출액의 5~10% 이상을 연구 개발비와 프로젝트 별 과제에 의한 매년 신제품을 출시하고 있으며,
산학연맹을 통한 공동연구와 신규 고부가치 제품 개발을 위한 투자와 다수의 특허 출원과 실용신안 등의 무형자산에 출원, 등록을 추진하고 있습니다.

1. R&D Road Map

2. Patent Status

- 특허 10-0906987 : 2009년 7월 등록 (반도체 장비 식각 쳄버 내 하부저극의 재생을 위한 세정 방법)
- 특허 10-0919258 : 2009년 9월 등록 (전극세정장치)
- 디자인 30-2009-0034977 : 2010년 10월 등록 (기판 보관용 카세트)